一种高探测效率长波红外光谱成像器件和成像方法

一种高探测效率长波红外光谱成像器件和成像方法，属于微纳光学设计领域，方案如下：超表面光谱调制层由多个超表面周期单元按顺序排列形成的方阵组成，每个超表面周期单元均由多个超表面结构单元组成，每个超表面结构单元包括衬底和若干个纳米柱，若干个纳米柱在衬底上的分布呈C4对称结构；通过粒子群优化算法实现高透过率超表面结构单元的逆向设计并得到它的结构参数；入射光经超表面光谱调制层实现光谱编码，编码信息被下方的长波红外焦平面探测像元转化为电信号，配合深度神经网络算法可以重建出高分辨率的长波红外光谱图像。本发明提供的光谱成像方法完美兼容半导体和MEMS工艺，实现了高探测效率的长波红外波段光谱成像。