一种耐化学侵蚀的碳化硅晶舟及其方法

本发明涉及碳化硅晶舟技术领域，提出了一种耐化学侵蚀的碳化硅晶，包括第一底托和第二底托，其特征在于，第一底托和第二底托之间设置有连接件，连接件包括固定连接在第二底托一端的插块，第一底托靠近第二底托的一端开设有与插块滑动配合的装配槽，插块上开设有多个沿插块长度方向等距分布的螺孔一，第一底托的外侧插接有与任意一个螺孔一螺纹配合的定位螺杆一，第一底托与第二底托相背的一侧均转动连接有侧托部，第一底托与第二底托的底端设置有用于调整侧托部与相应第一底托与第二底托夹角的调节件。本发明可以实现第一底托和第二底托间距的调整，从而满足对不同尺寸晶圆的装载。