一种精密零件加工精度误差补偿工艺

本发明属于精密零件加工技术领域，且公开了一种精密零件加工精度误差补偿工艺，高精度测量设备包括激光干涉仪和坐标测量机，数控系统根据模型计算出机床各轴的补偿量，并进行动态调整，在线刀具测量系统包括刀具补偿探头，激光干涉仪通过激光束与机床测量部件的反射进行干涉测量，从而获得测量精度，通过设置的激光干涉仪、坐标测量机和刀具补偿探头的配合，数控系统根据模型计算出机床各轴的补偿量，并进行动态调整，激光干涉仪通过激光束与机床测量部件的反射进行干涉测量，确保平行度和垂直度，检查机床在不同工作温度下的误差变化，使用激光干涉仪检测机床在不同温度下的运动误差，并根据温度变化补偿这些误差。