显微激光多普勒测振系统的检测装置、方法及设备

本申请涉及一种显微激光多普勒测振系统的检测装置、方法及设备，涉及显微激光多普勒测振系统的检测领域，可以检测目标测试模块的检测结果是否准确，从而可以根据标准振动频率对目标检测模块进行校正，提高目标检测模块的检测精度和可靠性。该装置包括：振动模块驱动目标晶片以预设振动频率振动，标准测试模块获取振动中的目标晶片的电学参数，根据电学参数确定目标晶片的标准振动频率，目标测试模块出射激光光束，以使激光光束入射至振动中的目标晶片表面，获取振动中的目标晶片的光学参数，根据光学参数获取目标芯片的目标振动频率，校准模块根据第一差值与预设差值的大小关系，确定目标测试模块的测试范围。