一种下料机械臂及研磨设备、研磨方法

本公开实施例提供了一种下料机械臂及研磨设备、研磨方法，所述下料机械臂包括：机械臂主体，包括可活动的臂部及与所述臂部连接的晶圆承载部；用于吸附晶圆的N个吸附件，N个所述吸附件设于所述晶圆承载部上，且N个所述吸附件以环绕所述晶圆的中心的方式均匀分布，N大于或等于3。本公开实施例提供的下料机械臂及研磨设备、研磨方法，能够防止晶圆下料时发生碎片。