一种基板耐压测试装置和测试系统

本发明提供一种基板耐压测试装置和测试系统，属于智能测控技术领域，其装置包括仿真模块、量子控制模块、能量系统执行模块以及应急联动模块，通过仿真装置实时采集基板电场数据生成动态三维模型；量子控制装置基于模型计算高精度边界条件；能量系统按条件执行快速充放电或保护动作；应急联动装置通过多传感器定位击穿点，预测缺陷类型并评估可靠性，形成仿真‑控制‑保护‑诊断闭环，实现测量精度跃升，提升确定击穿点效率，阻止击穿扩散，降低误判率。