摘要
本申请提供一种芯片及其制备方法和红外光场生成器件,芯片包括:至少一个像元,像元包括隔热层和纳米森林吸收结构,纳米森林吸收结构设置于隔热层的沿第一方向的一侧,纳米森林吸收结构包括纳米森林结构和吸光层,纳米森林结构与隔热层相连,纳米森林结构与隔热层的材料相同,吸光层覆盖于纳米森林结构的外表面,纳米森林吸收结构被构造为吸收入射光的光能并生成红外光。本申请的芯片吸光性能较好,且不容易出现热应力失配问题。
技术关键词
纳米森林结构
吸收结构
隔热层
衬底
芯片
红外光
涂布光刻胶
光刻胶层
圆锥状
上沉积
圆柱状
线状
层叠
间距