摘要
本发明提供了一种晶圆级双色红外焦平面芯片,可应用于半导体技术领域,包括:键合层;第一探测器外延层,设置有第一公共电极台面和第一像元台面;第二探测器外延层,设置有第二公共电极区和第二像元台面;双色读出电路晶圆,包括第一顶电极触点,第二顶电极触点,第一公共电极触点和第二公共电极触点;第一顶电极,与第一像元台面的顶部表面以及第一顶电极触点电学连接;第二顶电极,与第二像元台面的顶部表面以及第二顶电极触点电学连接;第一公共电极,与第一公共电极台面的顶部表面以及第一公共电极触点电学连接;第二公共电极,与第二公共电极区的顶部表面以及第二公共电极触点电学连接。通过三维堆叠和晶圆键合,降低生成成本和工艺难度。
技术关键词
红外焦平面芯片
电极触点
探测器
台面
接触层
读出电路
外延
晶圆
势垒层
掩膜
沟槽
通孔图案
键合设备
阵列
半导体材料
介质
轮廓
衬底