一种VCSEL芯片及其制备方法、光模块及其光发射组件

本发明公开一种VCSEL芯片及其制备方法、光模块及其光发射组件，VCSEL芯片包括：VCSEL器件，VCSEL器件包括依次分布的衬底、底部反射镜结构、谐振腔结构和顶部反射镜结构；以及加热器件，加热器件设置于VCSEL器件的底部位置，加热器件与衬底接触。由于VCSEL芯片包括VCSEL器件和加热器件，加热器件设置于VCSEL器件的底部位置，加热器件可以对VCSEL器件进行主动加热，位于底部的加热器件还可以避免热量流失，起到更好的保温效果。当外界处于低温环境时，加热器件的主动加热可以让VCSEL器件始终保持在合适的温度范围内，避免VCSEL器件因低温内阻升高而导致传输性能下降，即加热器件的设置，可以使得VCSEL器件在低温环境下仍能够保证其传输性能，以实现低温环境的正常工作。