摘要
本发明提供了一种芯片的测试设备,涉及芯片测试技术领域。本发明中每个输送机构包括环形直线电机和安装在环形直线电机上的多个测试治具,每个测试治具受控地在上料工位、测试工位和下料工位之间移动。功能机构包括与测试工位对应设置的测试装置,测试装置被设置成在测试治具移动至测试工位时对被测芯片进行功能性测试。上述技术方案采用环形直线电机带动多个测试治具移动的方式,每个测试治具都是独立的,既可以同步运动,也可以每一个单独运动,相比于转盘的所有测试治具都只能同步运动的方式,环形直线电机更加灵活。另外,环形直线电机上有直线段,直线段更有利于布置测试工位,而且可以更好地进行扩展,扩展性较好。
技术关键词
环形直线电机
测试设备
工位
上料组件
吸附件
下料组件
下料机构
测试座
上料机构
清洁工
转塔
芯片测试技术
合模装置
上盖板
转运机构
更换装置
纠偏装置
清洁装置