摘要
本发明提供了一种芯片测试设备及控制方法,涉及芯片测试技术领域。本发明先控制目标第一吸附件吸附被测芯片,之后控制第一转塔转动,以带动目标第一吸附件转动至环形直线电机的上料工位,并将测芯片放到目标测试治具上。然后控制环形直线电机带动目标测试治具移动至测试工位处,在被测芯片完成测试后,控制环形直线电机带动目标测试治具移动至下料工位,并对被测芯片进行下料。上述技术方案利用转塔对被测芯片进行上料,多个第一吸附件同步进行取放料,提高了上料速度。采用环形直线电机带动测试治具移动的方式,可以与转塔的上料速度匹配,从而整体提高了测试效率,环形直线电机上的多个测试治具可以单独控制,灵活性较好。
技术关键词
环形直线电机
吸附件
工位
上料组件
开模装置
芯片测试设备
测试探针
转塔
探针检测装置
上盖板
下盖板
上料机构
合模装置
控制清洁装置
芯片测试技术
转接探针
驱动件
下压结构