基于动态调整A*启发式函数的半导体晶圆制造系统调度方法

本发明具体涉及一种基于动态调整A*启发式函数的半导体晶圆制造系统调度方法，包括：根据晶圆制造涉及的组合设备的加工流程建立Petri网模型，对Petri网模型中的系统资源进行初始化处理；利用改进的基于节点深度动态调整启发式函数权重的A*算法在Petri网模型中搜索最优调度路径。通过在A*算法中引入动态调整启发式函数机制，并结合节点深度权重优化晶圆制造系统调度，在搜索过程中能够更加灵活地适应不同阶段的路径选择。通过构建基于节点深度和启发式函数相结合的代价值优先级比较器，能够更有效地筛选出具有更高优先级的节点，减少在无效路径上的搜索。在Petri网模型中引入动态调整的代价评估，相对平衡单双腔机台等资源的使用，减少资源限制或过载的情况。