一种芯片老化测试与分析方法

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一种芯片老化测试与分析方法
申请号:CN202510393768
申请日期:2025-03-31
公开号:CN120314748A
公开日期:2025-07-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片测试技术领域,具体涉及一种芯片老化测试与分析方法,包括以下步骤:基于晶圆级与封装后测试数据的融合,构建了包含工艺偏差、电气参数及热力学参数的老化参数矩阵,测试过程中,通过可编程电源与多区控温阵列实现多应力协同加载,实时采集瞬态电信号、热成像数据及漏电流频谱,跨维度提取电气‑热力耦合系数与工艺偏差敏感度因子,建立非线性衰退模型,评估芯片功能区块的差异化老化路径,基于动态寿命预测模型与故障预警机制,生成并执行自适应测试优化策略,实现对多种失效模式的早期预判和应力调整。本发明,能显著提高老化测试的效率与准确性,为深亚微米及后摩尔时代芯片的高可靠性评估提供技术支撑。
技术关键词
芯片老化测试 分析方法 参数 寿命预测模型 偏差 动态 电气特征 故障预警机制 掺杂浓度梯度 策略 应力 传感系统 矩阵 闭环反馈机制 非线性 芯片测试技术 模式识别 可编程电源 热成像
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