一种基于焊盘的晶圆找正方法
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一种基于焊盘的晶圆找正方法
申请号:
CN202510394314
申请日期:
2025-03-31
公开号:
CN120252566A
公开日期:
2025-07-04
类型:
发明专利
摘要
本公开实施例中提供了一种基于焊盘的晶圆找正方法,属于数据处理技术领域,具体包括:步骤1,获取晶圆焊盘轮廓的二值化图像;步骤2,去除晶圆焊盘轮廓的二值化图像中的残缺焊盘轮廓,保留完整轮廓;步骤3,在完整轮廓的二值化图像中选择目标焊盘轮廓;步骤4,通过目标焊盘轮廓中心拟合直线实现晶圆找正。通过本公开的方案,提高了找正效率和精准度。
技术关键词
晶圆焊盘
轮廓筛选
数据处理技术
轮廓图像
直线
探针台
算法
矩形
尺寸
沪ICP备2023015588号