一种互连结构、功率模块以及制备方法

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一种互连结构、功率模块以及制备方法
申请号:CN202510394424
申请日期:2025-03-31
公开号:CN120261425A
公开日期:2025-07-04
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种互连结构、功率模块以及制备方法,涉及芯片焊接技术领域,互连结构为金属材料制成的桥型结构,互连结构包括至少两个焊脚,焊脚的顶端通过连接体连接,焊脚之间具有绝缘通道,焊脚的下表面以及连接体的上表面均为平面,且焊脚的下表面与连接体的上表面平行;绝缘通道的上表面为开口向下的弧形面;本发明中互连结构在具有较高强度和绝缘性能的前提下,还可以获得较大的截面尺寸,具有更大的电流承载能力、更好的散热能力以及更长的使用寿命,而且能够在一次互连工艺中,利用焊接设备或烧结设备压头对多个互连结构同时施加压力,从而实现多组电气元件的互连,极大地提高封装效率。
技术关键词
互连结构 功率芯片 功率模块 芯片焊接技术 焊脚 互连工艺 绝缘 金属材料 烧结设备 衬板 通道 截面尺寸 电气元件 焊接设备 回路 铜合金 焊膏 底板 半圆形
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