摘要
本发明提供一种互连结构、功率模块以及制备方法,涉及芯片焊接技术领域,互连结构为金属材料制成的桥型结构,互连结构包括至少两个焊脚,焊脚的顶端通过连接体连接,焊脚之间具有绝缘通道,焊脚的下表面以及连接体的上表面均为平面,且焊脚的下表面与连接体的上表面平行;绝缘通道的上表面为开口向下的弧形面;本发明中互连结构在具有较高强度和绝缘性能的前提下,还可以获得较大的截面尺寸,具有更大的电流承载能力、更好的散热能力以及更长的使用寿命,而且能够在一次互连工艺中,利用焊接设备或烧结设备压头对多个互连结构同时施加压力,从而实现多组电气元件的互连,极大地提高封装效率。
技术关键词
互连结构
功率芯片
功率模块
芯片焊接技术
焊脚
互连工艺
绝缘
金属材料
烧结设备
衬板
通道
截面尺寸
电气元件
焊接设备
回路
铜合金
焊膏
底板
半圆形