一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置

本发明涉及晶圆检测技术领域，具体提供一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置，对目标晶圆进行暗场拍摄，获取该晶圆的表面暗场散射图像，遍历暗场图像中的每一个像素，通过设定邻域和SNR估算计算形成SNR估计图，通过双阈值原理对SNR估计图进行全局阈值分割，获得低阈值二值图和高阈值二值图，遍历低阈值二值图中的连通区域，若连通区域内存在至少一个像素在高阈值二值图中被标记为缺陷，则将该连通区域内所有像素标记为真实缺陷，否则标记为伪缺陷。本发明在背景噪声较大动态范围、缺陷像素数量较少、缺陷信号较弱等条件下，仍能稳定检出缺陷和缺陷轮廓。