摘要
本发明提供一种闪存的测试方法,对存储单元阵列的存储单元进行写“0”操作,获得最低的浮栅电压。存储单元的存储位全为“0”背景下进行写“1”操作。通过先写“0”,然后在存储位全为“0”背景下进行若干次写“1”操作,从而得到远大于终端用户写“1”操作模式下位线与浮栅之间的电压差;使有缺陷的存储单元尽早暴露出来并剔除。接着对存储单元阵列的存储单元进行擦除和读操作;然后在存储位全为“1”背景下写“1”操作,以对擦除后的存储单元进行浮栅缺陷筛查,异常浮栅所在整列的存储单元写“1”失效,筛选出异常浮栅所在整列的存储单元。将有缺陷芯片在良率测试阶段筛选出来,提高闪存可靠性,避免闪存在终端用户使用失效。
技术关键词
存储单元阵列
测试方法
浮栅缺陷
分栅式闪存单元
存储结构
电压
隧穿氧化层
位线
衬底
功耗
电流
短路
矩阵
芯片
动态
电子
模式