一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法

本申请涉及半导体测试技术领域，公开了一种MEMS探针卡半自动PIN校正方法，包括以下步骤：将探针卡固定在固定平台上，通过操作界面调整大型工具显微镜的焦距和放大倍数，使探针显示在图像采集系统中；启动图像采集与处理系统，采集探针与目标PIN点的初始图像，并提取探针的位置和尺寸参数；装置包括：大型工具显微镜，用于对探针进行高分辨率成像并观察探针与目标PIN点的关系；探针卡固定平台，用于固定探针卡。本发明采用基于高分辨率图像采集与实时反馈调整的技术方案，实现了探针卡与目标PIN点之间的精准对准，通过实时图像反馈和精确的路径优化，确保探针卡在校准过程中的每一步都能精确到位。