一种MEMS偏转角度检测方法、光通信设备和存储介质

本发明涉及光通信技术领域，特别是一种MEMS偏转角度检测方法、光通信设备和存储介质。微镜偏转角度检测方法，应用于微机电系统，微机电系统包括微镜阵列，以及用于驱动微镜阵列偏转的驱动模块；该方法包括：生成高频激励信号，将高频激励信号耦合至驱动模块；当微镜阵列在驱动模块的驱动下进行偏转时，从驱动模块获取调制信号，调制信号为高频激励信号被驱动模块调制后生成；基于调制信号的调制相位和调制幅值的至少一个获取微镜阵列的偏转角度。本发明能够有效降低检测成本，提升检测准确度和可靠度。