一种滤光膜热变形测试设备及测试方法

本发明涉及滤光膜测试技术领域，公开了一种滤光膜热变形测试设备及测试方法。所述方法包括：基于测试环境，对滤光膜进行温度循环测试，同时采集三元组数据集；对所述三元组数据集进行图像预处理和位移场构建，并将位移场分解为规范变形模式的线性组合，得到热变形响应函数；基于热变形响应函数构建层次化概率图模型，并通过变分推断提取热变形特征结构化表示；对热变形特征结构化表示进行偏差补偿，得到环境自适应热变形特征，并计算包含热膨胀系数矩阵、热变形各向异性指数及热波纹强度的热变形可靠性评估结果，本发明能够精确捕捉滤光膜的热变形特性，实现了滤光膜热变形特性的全面评估和可靠性分析。