原子层沉积设备反应腔室内多传感器融合的温度检测方法

本申请提供一种原子层沉积设备反应腔室内多传感器融合的温度检测方法，应用于一般控制与调节系统技术领域，通过获取反应腔室内不同位置的多个温度传感器得到的实际测量值以及传感器的数量，结合提出的分散式卡尔曼滤波算法进行局部卡尔曼滤波，以减小噪声带来的影响，得到各温度传感器对应的局部温度值。采用预设最佳线性无偏估计算法对各局部温度值进行融合处理，可得到能够精准反映腔室内真实温度的融合温度值，也就是目标温度值。最终采用该温度值进行温度控制，可应对传统方法单一传感器故障导致的数值缺失，减少测量噪声以及过程噪声对温度测量精度的影响，为后续反应腔室温度控制提供保障。