基于机理模型的ALD设备温度控制方法

本发明提出了一种基于机理模型的ALD设备温度控制方法，包括以下步骤：步骤1、建立并更新机理模型；步骤2、根据机理模型，设计无迹卡尔曼估计器；步骤3、将机理模型线性化，并以此来设计控制器的反馈增益，以形成二号控制器；步骤4、构建温度控制系统；步骤5、所有的Inner TC实时获取温度数据，二号控制器输出加热功率至对应的加热器，使得Inner TC的测量数值与对应的目标参考温度之间的误差在设定范围内。本发明提高了稳态控制精度。