一种微芯片用柔性线路板及其制备方法

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一种微芯片用柔性线路板及其制备方法
申请号:CN202510414866
申请日期:2025-04-03
公开号:CN119922835B
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种微芯片用柔性线路板及其制备方法,方法包括以下步骤:选择加工的复合柔性基材,并对复合柔性基材进行表面改性处理,制得初步线路板;在初步线路板的表面依次涂布高粘附力光刻胶和高解析度光刻胶,并采用激光直接成像技术对涂覆两层光刻胶的初步线路板进行图案曝光;通过热压工艺对曝光后的光刻胶层进行固化处理;在线路图案区域形成导电层,以制得柔性线路板。本发明解决了现有技术中柔性线路板的线路加工失准的技术问题。
技术关键词
柔性线路板 微芯片 基材 芳香族液晶聚合物 金属沉积 低温等离子体设备 光刻胶层 成像技术 纳米喷涂技术 激光 物理气相沉积技术 空气流通系统 热固性聚酰亚胺 可溶性聚酰亚胺 电源分配网络
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