一种磁探针与SQUID组合模块及其应用与方法

提供一种用于扫描磁显微镜的SQUID组合模块，在SQUID芯片的不含磁通感应结区的一面，采用低温胶粘贴一块坡莫合金薄片；在SQUID芯片的含磁通感应结区的一面，采用低温胶粘贴有磁探针，使磁探针处于SQUID芯片接收线圈的物理中心远离SQUID磁通感应结区，磁探针内芯为锥柱体形状的实心石英针，在实心石英针的侧表面和两端底面溅射沉积坡莫合金膜，并在溅射沉积坡莫合金膜完成后，采用激光切割加工工艺，对磁探针针尖和尾端部分进行多次高精度切割加工而完成；还提供磁探针的制作方法与用于集成电路芯片缺陷检测方法；可在保证达到亚微米级空间分辨率的同时大幅增加检测时的信号耦合率。