一种光线追踪光学特性扫描测量装置和方法

本发明涉及光学检测技术领域，提供一种光线追踪光学特性扫描测量装置和方法，该装置包括光源，用于照射出准直的光束；光束方位调节模块，设置在光束的照射方向，用于调整光束的照射方向；光束指向测量模块，可移动地设置在入射光束、反射光束和折射光束的光路中；光束功率测量模块，可移动地设置在入射光束、反射光束和折射光束的光路中。本发明提供的光线追踪光学特性扫描测量装置，光束指向测量模块与光束功率测量模块可灵活移动至入射、反射及折射光路中，无需切换其他配套设备或大幅调整样品位置，并可快速获取光束的空间指向与功率信息，显著提升测量效率和精度。