晶圆缺陷检测的UV光源精确调控方法及相关设备

本申请涉及光源调控技术领域，公开了晶圆缺陷检测的UV光源精确调控方法及相关设备，该方法包括：确定晶圆缺陷检测的初始检测参数；根据初始检测参数获取目标晶圆的晶圆表面图像；识别晶圆表面图像的缺陷信息；根据缺陷信息评估初始检测参数的检测效果值；若检测效果值低于预设检测阈值，则根据缺陷信息生成UV光源调控策略。通过本申请方案的实施，通过获取初始检测参数并评估检测效果值,建立了一个闭环反馈机制，及时发现检测效果不理想的情况，并据此调整UV光源参数，确保缺陷检测始终保持在最佳状态，提高晶圆缺陷检测的准确性。