控制装置、干涉系统及方法

本申请提供的控制装置、干涉系统及方法，包括n个通道干涉光路和算法单元，每个通道干涉光路包括输入光束、光功率稳定器及感光元件，输入光束耦合至光功率稳定器，经光功率稳定器进行光强调节后照射至待测样品，再反射至感光元件，感光元件生成感光反馈信号，算法单元根据感光反馈信号对光功率稳定器进行调节，且所述n个通道干涉光路入射至待测样品的位置至少部分不同，从而实现在不改变相位的前提下，同时独立调节多路光强，以适应不同测试平面的光强需求，更好满足实际应用要求。