一种光刻机的温度控制电路

本申请提供了一种光刻机的温度控制电路，涉及电子技术领域。该温度控制电路包括：硬件PID电路、冷却片模块和温度检测电路；温度检测电路的检测部设置于光刻机上的晶圆台上，温度检测电路的输出端连接硬件PID电路的输入端，硬件PID电路的参考端用于接收预设基准电压，使得硬件PID电路用于根据温度检测电路输出的当前温度对应的检测电压以及预设基准电压，生成控制信号；硬件PID电路的输出端连接冷却片模块的控制端，冷却片模块用于对晶圆台进行温度控制。从而，采用硬件PID电路实现实时闭环控制，实现了精准温度控制，减少延迟时间。