一种FOW工艺防塌丝防溢胶引线键合的方法及芯片产品

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推荐专利
一种FOW工艺防塌丝防溢胶引线键合的方法及芯片产品
申请号:CN202510433090
申请日期:2025-04-08
公开号:CN120300013A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体集成电路封装测试领域,公开了一种FOW工艺防塌丝防溢胶引线键合的方法及芯片产品,本方法在第一层芯片的键合衬垫上,通过植焊球形成第一Bump,然后将RSSB线弧楔焊键合在第一Bump上,随后在第一Bump的楔焊焊点上植焊球形成至少一个新的Bump,构成叠层Bump结构。在上层芯片贴片过程中,贴片的下压力将直接作用于叠层Bump上,而非RSSB线弧或FOW胶膜上。采用本方法的叠层Bump结构,可以有效承受并传递贴片过程中的下压力,既降低了线弧塌丝的风险,又防止了FOW胶膜的溢出,显著提升了工艺稳定性和封装可靠性。
技术关键词
植焊球 半导体集成电路封装测试 焊点 叠层 芯片 贴片 金手指 胶膜 衬垫 键合线 压力 基板 定位点 劈刀 凹形 烘箱 气泡 风险 关系
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