一种基于网络结构柔性光波导的分布式触觉传感器及制备方法及传感装置

本发明公开了一种基于网络结构柔性光波导的分布式触觉传感器及制备方法及传感装置，包括光源、光电探测模块、CMOS电路板、柔性薄膜基底、微纳光纤、柔性薄膜覆盖层以及摄像头；微纳光纤两端分别与光源、光电探测模块相连接；微纳光纤弯曲成U型包埋在柔性薄膜基底与柔性薄膜覆盖层之间；包埋有微纳光纤的柔性薄膜夹在CMOS电路板之上，摄像头之下；利用摄像头受力后柔性薄膜形变引起的微纳光纤弯曲损耗变化实现触觉传感，利用柔性薄膜的高透光性和微纳光纤小尺寸的特性来降低对摄像头成像质量的干扰。本发明同时具备触觉传感和视觉成像能力，能实现高灵敏度、大量程、高耐用性的触觉传感以及高成像质量的视觉成像。