一种基于FOC算法的电子束多极靴线圈偏转系统控制方法

本发明提供了一种基于FOC算法的电子束多极靴线圈偏转系统控制方法。电子束多极靴偏转线圈和电机的定子线圈有相似的结构，而电机领域使用FOC（Field‑Oriented Control，磁场定向控制）算法可以实现高精度的控制，因此本发明将这项技术引入到电子束偏转控制系统，设计了电子束专用Park变换以及动态调整PI参数，为电子束偏转控制系统提提供一个新思路。通过反电动势观测器检测整个FOC控制过程，测量电子数落点位置，从而实现闭环控制。将测量到的落点位置信息与用户输入的期望位置信息进行比较，得到的差值误差位置信息，FOC高频扫描驱动电路就会做出相应的调整，直至误差位置信息被消除。这项技术可以广泛应用于电子束行业的衍生领域如电子束光刻、扫描电镜扫描、电子束增材制造（EBM）等，具有很好的应用前景。