一种晶圆预对准方法和系统

本发明涉及一种晶圆预对准方法和系统，其中，晶圆预对准方法，包括以下步骤：步骤S1：对预对准平台上晶圆的边缘进行采样，以获取所述晶圆的边缘上各处的坐标；步骤S2：根据所述晶圆的边缘上各处的坐标，获取所述晶圆的边缘上各处的曲率K；步骤S3：根据所述晶圆边缘上各处的曲率K对所述晶圆的边缘上的各处坐标进行分类，以分别得到所述晶圆的弧形边缘数据集和缺口边缘数据集；步骤S4：根据所述弧形边缘数据集，拟合所述晶圆的圆心坐标；并根据所述缺口边缘数据集，拟合所述晶圆的缺口位置；步骤S5：基于所述晶圆的圆心坐标及缺口位置进行预对准。根据本发明的技术方案，其可以降低晶圆翘曲变形对预对准的干扰。