摘要
本发明实施例公开了一种霍尔传感器的封装结构的制备方法,该制备方法包括提供目标集成芯片、框架以及隔离垫片;目标集成芯片包括叠层设置的基底和电路层;电路层包括霍尔传感器和功能焊盘;框架包括原边框架和副边框架;将目标集成芯片进行翻膜,使电路层朝下,基底朝上;将框架进行翻转,使引脚镀银面朝下;将隔离垫片的一面与原边框架进行贴附;将电路层与隔离垫片的另一面进行贴附,得到装片结构;将目标集成芯片与副边框架进行键合,使功能焊盘与引脚镀银面进行焊接,得到封装结构,如此能够保证霍尔传感器位于集成芯片靠近原边框架的一侧,减小霍尔传感器与原边框架之间的距离,提高霍尔传感器感应到的磁通量,提高产品的灵敏度。
技术关键词
集成芯片
封装结构
隔离垫片
霍尔传感器
框架
电路
基底
焊盘
晶圆
叠层
胶水
离子