基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法

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基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法
申请号:CN202510442537
申请日期:2025-04-10
公开号:CN119958720B
公开日期:2025-07-29
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法,涉及光纤传感技术技术领域,具体包括法布里‑珀罗干涉仪(FPI)、马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)、单模光纤(SMF)、空芯光纤(HCF)、温敏材料、双C型微通道、单包层光纤(SCF);FPI由填满温敏材料的双C型微通道和第一SMF和第二SMF熔接构成,双C型微通道由飞秒激光在HCF上刻写形成;MZI由SCF和第二SMF和第三SMF经过轴心偏移错位熔接构成;FPI为温度传感区,MZI为盐度传感区,FPI为MZI提供温度补偿;采用二元二次多项式曲面拟合解耦算法降低了温盐之间的交叉敏感,具有较高的灵敏度和分辨力,对于构建全球“透明海洋”战略具有重要意义。
技术关键词
曾德尔干涉仪 单模光纤 珀罗干涉仪 温敏材料 飞秒激光刻写 空芯光纤 MZI结构 电鼓风干燥箱 10倍物镜 高性能 熔接机 真空反应釜 光纤传感技术 传感器封装 错位 解耦算法 通道
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