摘要
本发明提供一种基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法,涉及光纤传感技术技术领域,具体包括法布里‑珀罗干涉仪(FPI)、马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)、单模光纤(SMF)、空芯光纤(HCF)、温敏材料、双C型微通道、单包层光纤(SCF);FPI由填满温敏材料的双C型微通道和第一SMF和第二SMF熔接构成,双C型微通道由飞秒激光在HCF上刻写形成;MZI由SCF和第二SMF和第三SMF经过轴心偏移错位熔接构成;FPI为温度传感区,MZI为盐度传感区,FPI为MZI提供温度补偿;采用二元二次多项式曲面拟合解耦算法降低了温盐之间的交叉敏感,具有较高的灵敏度和分辨力,对于构建全球“透明海洋”战略具有重要意义。
技术关键词
曾德尔干涉仪
单模光纤
珀罗干涉仪
温敏材料
飞秒激光刻写
空芯光纤
MZI结构
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10倍物镜
高性能
熔接机
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光纤传感技术
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错位
解耦算法
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