互连线的电-热迁移效应电路模型的构建方法及装置

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互连线的电-热迁移效应电路模型的构建方法及装置
申请号:CN202510442714
申请日期:2025-04-10
公开号:CN119990031B
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本公开实施例涉及封装互连可靠性分析技术领域,提供了一种互连线的电‑热迁移效应电路模型的构建方法及装置,基于Korhonen控制方程及边界条件,将电‑热迁移效应转化为电路参数变化,捕捉温度和温度梯度对原子迁移的显著影响,推导出互连线在电‑热迁移效应下的等效电路模型,利用改进节点分析法,确定等效电路模型对应的电路矩阵方程,并对电路矩阵方程进行降维处理,得到互连线的电‑热迁移效应电路模型,有效压缩了系统维度,从而有效降低了计算复杂度,显著提高了求解效率,使其能够快速分析复杂多分支互连线中的应力演化,同时动态模拟空洞长度演变,兼顾了精度需求与效率需求。
技术关键词
等效电路模型 节点分析法 线段 方程 效应 空洞 空间转换矩阵 互连线 电流源 可靠性分析技术 电容 电压 应力场 处理器 阶段
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