摘要
本公开实施例涉及封装互连可靠性分析技术领域,提供了一种经时击穿SPICE电路模型及其构建、验证方法及应用。本公开实施例采用金属导电细丝紧凑模型来解释相关物理现象,并结合用于描述电阻退化现象的电阻退化模型构建SPICE等效电路模型,将TDDB效应转化为电路参数的变化,有效描述了介质层在电场应力下的动态退化过程,实现了对器件寿命预测、电流与电阻退化过程的建模,大幅简化了计算过程,同时引入用于描述工艺不确定性的工艺容差模型构建经时击穿SPICE电路模型,不仅提升了计算效率,还保持了较高的建模精度,具有显著的工程应用潜力,可在介质击穿效应的评估设计阶段识别潜在风险,并通过优化设计显著提升其可靠性。
技术关键词
细丝
退化模型
等效电路模型
仿真数据
导电
栅极氧化层
线边缘粗糙度
验证方法
机械抛光
电阻
正向电压
介质
效应
可靠性分析技术
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通道
离子
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