碳化硅晶锭加工方法及加工系统

本申请提供了一种碳化硅晶锭加工方法及加工系统，属于碳化硅晶锭加工技术领域，解决了现有技术碳化硅晶锭难以加工的问题。本申请包括以下步骤：获取晶锭近光面的粗糙度，所述晶锭近光面为面向激光发射的面；根据晶锭近光面粗糙度，至少筛分出一级粗糙面和二级粗糙面，一级粗糙面的粗糙度Ra1大于二级粗糙面的粗糙度Ra2；基于不同粗糙面，执行加工策略，所述加工策略包括：采用α1光束向一级粗糙面的目标深度区域A1扫描，以形成第一改质区；采用α2光束向二级粗糙面的目标深度区域A2扫描，以形成第二改质区；其中，α1光束的脉冲能量配置为大于α2光束的脉冲能量，以使第一改质区的切缝宽度与第二改质区的切缝宽度基本相同。