摘要
本发明公开了一种芯片封装体及其制备方法,其中,芯片封装体包括:获取到塑封板件,塑封板件内塑封有金属基以及贴合设置在金属基一侧的芯片;对塑封板件进行双面激光钻孔以及填孔处理,得到连接芯片的第一金属化盲孔以及贯穿塑封板件的金属化通孔;金属化通孔的中间孔径小于其相对两端的孔径;在塑封板件的相对两侧制备导电线路,以连接金属化孔,得到芯片封装体;其中,在塑封板件靠近芯片一侧上制备精细线路,并使精细线路连接第一金属化盲孔。通过上述方式,本发明能够将金属基、精细线路以及X形孔集成到芯片封装体内,以保障封装体的高集成与性能之间的平衡。
技术关键词
金属化盲孔
芯片封装体
板件
导电线路
电镀金属层
钻孔
金属基板
通孔
激光
双面
贴膜
蚀刻