一种用于芯片的损伤检测电路、方法、以及装置

本发明公开了一种用于芯片的损伤检测电路、方法、以及装置，用于实现在线实时检测并判断损伤位置。电路部分包括：所述芯片损伤检测区域的衬底与多晶硅层之间有n个等效检测电阻，n≥2，所述损伤检测电路包括电源单元、开关单元与电压检测单元；其中，第1个等效检测电阻的一端与地端连接，第n个等效检测电阻的一端与所述开关单元的一端连接，所述开关单元的另一端与所述电源单元的供电端连接；所述第1个等效检测电阻与第n个等效检测电阻之间的电阻依次串联，所述电压检测单元的检测端连接至n个等效检测电阻中的任意两个相邻接的等效检测电阻之间。