摘要
本发明具体公开了一种软硬联合优化的片上光谱成像系统集成误差抑制方法,涉及光谱成像技术领域。该误差抑制方法包括:S1、设计编码滤光片的内圈正方形单元结构,使其与探测器像元一一对应,并通过半导体工艺制备滤光片;S2、通过端到端深度学习框架联合优化滤光片结构参数与光谱重构模型,抑制配准误差;S3、采用模拟退火算法优化滤光片排列模式,最小化相邻滤光片光谱差异。本发明提出的一种软硬联合优化的片上光谱成像系统集成误差抑制方法在保证系统紧凑集成的同时,显著降低了配准误差对光谱成像系统的影响,为片上计算光谱成像的高精度应用提供了一种全新的解决方案。
技术关键词
误差抑制方法
模拟退火算法
重构算法
滤光片结构
探测器
重构模型
深度学习框架
配准误差
感应耦合等离子体
半导体工艺
电子束光刻技术
编码
离子刻蚀技术
光谱成像系统
光谱成像技术
残余光刻胶
聚甲基丙烯酸甲酯
神经网络算法