一种固相含量检测釜体自动清洁装置及清洁评价方法

本发明涉及固相含量检测技术领域，且公开了一种固相含量检测釜体自动清洁装置及清洁评价方法，包括：分布式超声波传感网络；激光扫描探头，探头集成蓝宝石光学窗口与压缩空气幕，通过反射光峰值测量残留物厚度，精度为±1um，并动态补偿温度漂移；静电吸附机构；旋转铣刀机构；多物理场融合系统，本发明采用闭环反馈机制动态调整清洁参数(如喷淋压力、电压、气体流量)，结合温度漂移补偿与误差校正模型，残留物厚度检测精度达±0.8um，为清洁质量提供量化评价依据避免主观判断误差，显著提高检测数据可靠性。