基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统，包括探针位移检测模块、映射关系表构建模块、偏差比对模块、偏差补偿获取模块、探针台校正模块、管理数据库，本系统基于各探针在各时间点的实际位置坐标，构建探针之间的映射关系，通过同预设的理想坐标进行比对，计算各探针各时间点位置偏差向量在各轴上的分量，进而构建线性回归模型，结合探针之间的映射关系计算探针最终的偏差补偿向量，通过设置限制条件，结合偏差补偿向量生成控制指令，对探针台的运动进行动态校正，保证探针在工作过程中始终保持较高的位置精度，提高了整体工作的质量和效率。