一种基于Transformer-LSTM的晶圆沉积膜厚预测方法

本发明公开了一种基于Transformer‑LSTM的晶圆沉积膜厚预测方法，步骤包括：提取生产线数据，构建晶圆膜厚预测数据库；构建基于Transformer‑LSTM晶圆沉积膜厚预测模型，结合LSTM模块和Transformer模块，处理和预测晶圆沉积过程中的膜厚变化，捕捉长距离的序列依赖关系；通过晶圆膜厚预测数据库对晶圆沉积膜厚预测模型进行训练及性能改进，通过德尔塔方法分析生产线各项参数数据对最终预测模型的影响。本发明基于Transformer‑LSTM的晶圆沉积膜厚预测方法，能够实现对晶圆沉积膜厚进行预测，并分析生产线中各参数对模型的影响。