一种金属基薄膜内腐蚀性检测方法

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一种金属基薄膜内腐蚀性检测方法
申请号:CN202510478670
申请日期:2025-04-16
公开号:CN120385738A
公开日期:2025-07-29
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种金属基薄膜内腐蚀性检测方法,包括:设定与保护层材料匹配的电磁激励频率;施加激励信号并采集反射率、相位与谐波响应;建立无腐蚀标准响应模型;对比检测样本与标准模型的响应偏差,提取相位偏差率、谐波增幅比与反射率差值等腐蚀特征;依据阈值判断潜在腐蚀区域并构建腐蚀图谱;根据腐蚀等级占比计算结构健康指数并输出评估结果。本发明采用多频段电磁激励并结合非接触式响应采集方法,能够在不破坏金属基薄膜保护层结构的前提下,准确识别薄膜内部可能存在的腐蚀区域,实现对封装器件及原位结构的高完整性样品的无损检测,极大提升对在役器件和精密结构的适配性与检测安全性。
技术关键词
金属基薄膜 偏差 电磁 谐波幅值 边缘增强方法 金属薄膜结构 无腐蚀 区域增长算法 反射率差异 保护层结构 非接触式 信号 频率 选取结构 精密结构 指数 整体健康 判断准则
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