集成式磁场恒控装置及方法

本发明涉及磁场恒控技术领域，公开了集成式磁场恒控装置及方法，包括线圈励磁装置，用于生成可调控磁场；三维磁场分布监测装置，用于实时采集磁场分布数据；磁场恒控装置，用于基于磁场分布数据动态调节线圈励磁装置的输出；磁场恒控装置通过线圈励磁装置、三维磁场分布监测装置、磁场恒控装置集成形成闭环控制架构。上述的集成式磁场恒控装置及方法，实现对磁场全方位实时监测与高效调控的集成式磁场恒控装置，以显著提升精密抛光的精度、效率以及稳定性，满足现代高端制造业对超精密零部件加工的严苛要求。