一种芯片外观缺陷检测方法

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一种芯片外观缺陷检测方法
申请号:CN202510481416
申请日期:2025-04-17
公开号:CN120411002A
公开日期:2025-08-01
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片外观缺陷检测方法,包括:步骤S1,获取芯片外观缺陷典型图像样本,作为原始数据集,并对原始数据集本进行预处理;步骤S2,基于现有的YOLOv7算法的网络结构进行优化,优化后得到改进的YOLOv7目标检测模型;步骤S3,并通过Alpha‑SIoU损失函数对改进的YOLOv7目标检测算法进行训练优化;步骤S4,通过预处理后的数据集训练改进的YOLOv7目标检测算法;步骤S5,通过训练好的改进的YOLOv7目标检测算法进行芯片外观缺陷检测,输出存在缺陷的图片,并定位图片中缺陷的位置;步骤S6,根据图片中缺陷的位置,将对应的芯片进行激光标记,得到外观存在缺陷的芯片。本发明提高了芯片的外观缺陷检测的准确度。
技术关键词
外观缺陷检测方法 芯片 注意力机制 图片 算法 多尺度特征 网络结构 乘性噪声 代表 椒盐噪声 池化特征 重叠面积 激光 样本 标记 表达式 数据 典型 图像
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