摘要
本发明公开了一种芯片外观缺陷检测方法,包括:步骤S1,获取芯片外观缺陷典型图像样本,作为原始数据集,并对原始数据集本进行预处理;步骤S2,基于现有的YOLOv7算法的网络结构进行优化,优化后得到改进的YOLOv7目标检测模型;步骤S3,并通过Alpha‑SIoU损失函数对改进的YOLOv7目标检测算法进行训练优化;步骤S4,通过预处理后的数据集训练改进的YOLOv7目标检测算法;步骤S5,通过训练好的改进的YOLOv7目标检测算法进行芯片外观缺陷检测,输出存在缺陷的图片,并定位图片中缺陷的位置;步骤S6,根据图片中缺陷的位置,将对应的芯片进行激光标记,得到外观存在缺陷的芯片。本发明提高了芯片的外观缺陷检测的准确度。
技术关键词
外观缺陷检测方法
芯片
注意力机制
图片
算法
多尺度特征
网络结构
乘性噪声
代表
椒盐噪声
池化特征
重叠面积
激光
样本
标记
表达式
数据
典型
图像