一种激光晶体单晶生长炉的称重法直径控制系统

本发明公开了一种激光晶体单晶生长炉的称重法直径控制系统，包括籽晶称重单元、坩埚加热单元、高精度电压检测仪和PLC长晶控制系统；所述籽晶称重单元能够实时监测籽晶杆和籽晶的重量数据，通过模拟电压信号输出至所述高精度电压检测仪；所述高精度电压检测仪用于测量所述籽晶称重单元输出的电压值，换算晶体重量实时变化值，判断晶体引晶部分晶体生长趋势；所述PLC长晶控制系统读取所述高精度电压检测仪检测到的重量变化数据，计算实时晶体直径反馈值，设计ADC直径控制算法，通过目标直径与反馈直径参数，调整所述坩埚加热单元的加热器功率，干预炉内晶体生长实时温度变化，实现氟化物晶体直径全自动直径控制。