一种芯片缺陷检测方法、设备及介质

本发明公开了一种芯片缺陷检测方法、设备及介质，其中方法包括：获取待检测的芯片图像；将获得芯片图像输入基于扩散模型的语义分割模型，输出芯片的缺陷检测掩码；其中，语义分割模型包括图像编码器、注意力融合模块和图像解码器；图像编码器用于提取芯片图像的特征，注意力融合模块用于将提取的芯片图像特征与预设的噪声特征进行融合，获得融合特征；图像解码器用于根据融合特征生成出芯片的缺陷检测掩码；另外，在训练语义分割模型之前，对图像编码器进行单独地去噪预训练，以提升图像编码器性能。发明采用扩散模型的语义分割框架，设计了专门的网络结构，模型能够更好地从原始图像中学习缺陷边界信息。本发明可广泛应用于芯片缺陷检测领域。