一种集成电路掩膜板缺陷多光谱协同检测方法及系统

本申请涉及缺陷检测的技术领域，公开一种集成电路掩膜板缺陷多光谱协同检测方法，包括：利用多光谱相机对掩膜板进行初步扫描，选择最优波段组合，通过液晶可调滤光片切换至目标波段，获取高置信度多光谱图像；通过线性关系计算光路偏移量并动态调整微镜偏转角度，补偿成像偏移后二次采集图像；在FPGA中完成图像滤波与配准，生成高对比度融合图像；若置信度不足则触发波段重选机制复检；基于实时检测数据动态优化缺陷类型－光谱映射表；环境波动超限时自动切换至抗干扰模式，并触发微镜校准；实时监测光学组件性能退化，切换冗余光路并清洁受损部件，冲突时触发人工复检，最终生成可视化报告。本申请能够提高对于集成电路掩膜板的检测精准度。