摘要
本发明属于激光烧蚀及等离子体光谱检测技术领域,公开一种激光烧蚀产生的等离子体光谱检测方法及系统。等离子体光谱检测方法包括:采集等离子体光谱信号;基于等离子体光谱信号随机生成N个等离子体温度,N为等离子体温度的种群数;将N个等离子体温度作为父代,按照预设交叉概率执行交叉操作,对交叉操作后的个体再按照预设变异概率执行变异调整,以得到变异后代,用变异后代替代原父代中的个体,不断迭代更新种群,直至满足迭代终止条件后,终止迭代,满足迭代终止条件并且使适应度函数值最小对应的等离子体温度值即为最终的等离子体温度值。本发明能够显著提高光谱检测等离子体温度的准确性和可靠性,更好地应对复杂基体样品的检测需求。
技术关键词
光谱检测方法
激光烧蚀
光谱检测系统
脉冲激光器
激光聚焦装置
热辐射模型
数据处理单元
数据处理模块
光谱检测技术
采集卡
信号
激光束
探头
单脉冲
光谱仪
透镜
光纤
波长
侧翼